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Gasreiniger für Helium
Entfernung von H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC < 1ppb
Optional: Entfernung von Säuren, Basen, Refraktärwerkstoffe
 Heated Getter <100 slpm (MonoTorr)
H2O, O2, CO, CO2, H2, THC Removal < 1ppb
0 - 100 slpm
H2O, O2, CO, CO2, H2, N2, THC Removal < 1ppb
100 - 3300 slpm
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