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Gasreiniger für Edelgase, Stickstoff, Wasserstoff - PS4-MT3/15
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Die Forschung hat gezeigt, daß durch Point-of-use Gasreinigung eine gleichbleibende und reproduzierbare Prozeßleistung sichergestellt wird. Die Gasreinigung isoliert kritische Prozeßabschnitte von Gasversorgungssystemen und schützt vor Schwankungen in der Gasreinheit und Cross-Kontamination. Mit SAES Gasreinigern wird ein Reinheitsgrad von 99.9999999% erreicht; ein höherer Reinheitsgrad als der von Gas aus Flaschen oder Flüssigquellen.
Die Gasreiniger mit erhitztem Gettermaterial, Modell MonoTorr Phase II, entfernen Verunreinigungen bis in den untersten ppb Bereich aus Edelgasen, Stickstoff und Wasserstoff. Zirkonium basierte Getter bilden irreversible chemische Bindungen, um alle Oxide, Kohlenstoffverbindungen und Nitride zu entfernen. Die MonoTorr-Technologie ist als einzige in der Lage, alle Kohlenwasserstoffe und Stickstoff (aus Argon und Helium) zu entfernen.
Die Leistungsgarantien sind in der Grafik weiter unten dargestellt.
Andere Eigenschaften:
- Integrierte Eingangs-/Ausgangsventile und automatischer Bypass
- Mikroprozessor-Steuerung für zusätzliche Sicherheit und Automatisierung
- Schutz vor der Aussetzung an Luft oder Sauerstoff durch patentiertes Sicherheitssystem
- Der patentierte Lebensdauersensor warnt frühzeitig vor drohendem Durchbruch von Verunreinigungen
- Austauschbare Getterpatrone für schnelle, einfache Wartung
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PS4-MT3/15 Leistungsmerkmale |
gereinigte Gase | entfernte Verunreinigungen | PS4-MT3 | PS4-MT15 |
| | 0-20 slpm | 20-50 slpm | 0-30 slpm | 30-75 slpm |
He, Ar | H2O, O2, CO, CO2 | < 1 ppb | < 1 ppb | < 1 ppb | < 1 ppb |
N2, H2, CH4 | < 1 ppb | < 10 ppb | < 1 ppb | < 10 ppb |
N2 | H2O, O2, CO, CO2 | < 1 ppb | < 1 ppb | < 1 ppb | < 1 ppb |
H2, CH4 | < 1 ppb | < 10 ppb | < 1 ppb | < 10 ppb |
| | 0-3 slpm | 0-9 slpm |
Xe | H2O, O2, CO, CO2, N2, H2, CH4 | < 1 ppb | < 1 ppb |
| | 0-20 slpm | 20-30 slpm | 0-30 slpm | 30-50 slpm |
H2 | H2O, O2, CO, CO2 | < 1 ppb | < 1 ppb | < 1 ppb | < 1 ppb |
N2 | < 1 ppb | < 10 ppb | < 1 ppb | < 10 ppb |
Bestellinformationen |
Bestellnummer | Beschreibung | Power |
50 slpm (N2 und Edelgase), 30 slpm (H2), 3 slpm (Xe) |
PS4-MT3-R-1 | Edelgasreiniger | 110-120V |
PS4-MT3-N-1 | Stickstoffreiniger | 110-120V |
PS4-MT3-H-1 | Wasserstoffreiniger | 110-120V |
PS4-MT3-R-2 | Edelgasreiniger | 220-240V |
PS4-MT3-N-2 | Stickstoffreiniger | 220-240V |
PS4-MT3-H-2 | Wasserstoffreiniger | 220-240V |
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75 slpm (N2 und Edelgase), 50 slpm (H2), 9 slpm (Xe) |
PS4-MT15-R-1 | Edelgasreiniger | 110-120V |
PS4-MT15-N-1 | Stickstoffreiniger | 110-120V |
PS4-MT15-H-1 | Wasserstoffreiniger | 110-120V |
PS4-MT15-R-2 | Edelgasreiniger | 220-240V |
PS4-MT15-N-2 | Stickstoffreiniger | 220-240V |
PS4-MT15-H-2 | Wasserstoffreiniger | 220-240V |
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Optionen |
PS4-APIMS | APIMS cerification to 1 ppb |
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Ersatzteile (Replacement cartridges are field replaceable) |
PF4-C3-R-1 | 3000-Patrone für Edelgase | 110-120V |
PF4-C3-N-1 | 3000-Patrone für Stickstoff | 110-120V |
PF4-C3-H-1 | 3000-Patrone für Wasserstoff | 110-120V |
PF4-C3-R-2 | 3000-Patrone für Edelgase | 220-240V |
PF4-C3-N-2 | 3000-Patrone für Stickstoff | 220-240V |
PF4-C3-H-2 | 3000-Patrone für Wasserstoff | 220-240V |
PF4-C15-R-1 | 15000-Patrone für Edelgase | 110-120V |
PF4-C15-N-1 | 15000-Patrone für Stickstoff | 110-120V |
PF4-C15-H-1 | 15000-Patrone für Wasserstoff | 110-120V |
PF4-C15-R-2 | 15000-Patrone für Edelgase | 220-240V |
PF4-C15-N-2 | 15000-Patrone für Stickstoff | 220-240V |
PF4-C15-H-2 | 15000-Patrone für Wasserstoff | 220-240V |
APIMS Validation
The PS4 MonoTorr has been qualified using an atmospheric pressure ionization mass spectrometer (APIMS).
Upstream impurities fluctuating in the low-ppm range are immediately reduced to ppt levels.
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