Partikelfilter & Gasdiffuser

Die Beseitigung der Verunreinigungen in Ihrem Prozess beginnt mit einer ganzheitlichen Betrachtung des Gaszufuhrpfads. Durch die Identifizierung der Risiken können Sie die richtigen Lösungen implementieren, um Waferdefekte zu reduzieren.

Die Gasfiltration, die für die Erzielung der erforderlichen Reinheit von entscheidender Bedeutung ist, erfordert eine Reihe von Wahrnehmungen in Bezug auf ihre effektive Lebensdauer. Jeder Gas- und Prozessschritt hat einzigartige Bedingungen, die die Auswahl der optimierten Lösung beeinflussen.