Gasreiniger für Argon und Helium - PS5

Argon and Helium Bulk Gas Purifier - PS5

Die PS5-MegaTorr-Gasreiniger für Edelgase arbeiten mit erhitztem Gettermaterial und wurden speziell entwickelt zur Erzeugung von hochreinem (UHP) Helium oder Argon für Anwendungen der Semiconductor-Industrie. Die patentierte Getterlegierung entfernt bei erhöhter Temperatur die Verunreinigungen, indem sie in irreversible chemische Verbindungen umgewandelt werden. Die entfernten Verunreinigungen werden unter keinen Umständen wieder freigesetzt, wenn der Gasreiniger vorschriftsmäßig betrieben wird. Der Verunreinigungsgrad am Ausgang für O2, H2O, CO, CO2, H2, CH4 (alle Kohlenwasserstoffe) und N2 werden reduziert auf eine parts-per-billion-Konzentration. Diese Gasreiniger sind für einen Betrieb über mehrere Jahre hin ausgelegt, aber ihre Lebensdauer hängt vor allem ab von der Verunreinigungskonzentration am Eingang und der mittleren Durchflussrate. Ist die Reinigersäule verbraucht, kann sie ersetzt werden durch eine neue Säule und der Lebenszyklus beginnt von vorn. Hinter den Reinigersäulen mit dem erhitzten Gettermaterial werden die Wasserstoffverunreinigungen mittels einer patentierten Getterpatrone bei Umgebungstemperatur entfernt (Hydrogen Removal Unit - HRU).
Standardmäßig ist ein vollautomatischer Betrieb garantiert durch eine Computer-basierte Steuerung. Ein mehrfach gestufter Fehlerschutz benachrichtigt den Betreiber und erhält den Gasdurchfluss möglichst aufrecht. Eine längere Lebensdauer des Gettermaterials wird erreicht durch eine bessere Konstruktion der Getterschichten, mit dem Resultat einer sicheren Optimierung der Betriebstemperaturen, der Abmessungen der Getterschichten und der Durchflussraten. Nur ein Stromanschluss und Druckluft werden benötigt, um diese Gasreiniger zu betreiben.
Aufgrund des kompakten Designs und einer Vorder- und Rückseite von einem Meter können diese Helium/Argon-Reiniger auf kleinen Flächen eingesetzt werden (mit einem akzeptablen Spielraum an den Seiten). Der PS5 ist standardmäßig mit GettSafe™ ausgestattet, einem schnell-reagierendem System auf thermische Probleme. GettSafe™ entdeckt schnell eine übermäßige Erhitzung der Gettersäule, der eingebaute Mechanismus unterbricht den Reinigungsprozess und isoliert den Gasreiniger.

Standardeigenschaften:
  • Automatisierte Mikroprozessorsteuerung
  • Touchscreen-Benutzerschnittstelle
  • Abschaltung bei Erreichen der Höchsttemperatur
  • GettSafe™ high temperature safety shutdown system
  • 0,003µm Partikelfilter
  • Inlet and Outlet sample ports with isolation valves
  • Automatic Bypass
  • Wärmeaustauscher von Gas zu Gas
  • Elektronisches Gasvorheizsystem
  • Luftgekühlter Wärmeaustauscher
  • Ganzmetallgehäuse mit Türen
  • Alarm relay, life status indicator relay, remote contact shutdown, gas relay
  • Entlüftungsventil
Optionale Eigenschaften:
  • Absperrventile am Ein- und Ausgang
  • Eingangsmengendurchflußmesser
  • Instrument Air Management System
  • Manuelles Bypass-Ventil
  • Druckgesteuertes manuelles Bypass-Ventil
  • Separate Steuerspannung
  • Unterbrechungsfreie Stromversorgung (UPS)
  • MODBUS Datenübertragungsanschluss

PS5 Leistungsmerkmale
gereinigte Gaseentfernte VerunreinigungenAusgangsleistung
He, ArH2O, O2, CO, CO2, H2, N2, CH4< 1 ppb

PS5 Spezifikationen
Modellmaximaler Durchfluss
(Nm3/hr)
maximaler Druckabfall
(bar)
Abmessungen (cm)Gewicht
(kg)
HBT
PS5-MGT15150.71856189<204
PS5-MGT30300.71856189<204
PS5-MGT505011856189<240
PS5-MGT100100118518089<500
PS5-MGT150150118512089<750
PS5-MGT200200118524289<1000

© 2022 Rainer Lammertz