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Edelgas-/Stickstoff-Gasreiniger - PS3-MT3


MonoTorr Phase I Gasreiniger
Die Forschung hat gezeigt, daß durch Point-of-use Gasreinigung eine gleichbleibende und reproduzierbare Prozeßleistung für die Herstellung von Halbleiterbauelementen sichergestellt wird. Die Gasreinigung isoliert kritische Prozeßabschnitte von Gasversorgungssystemen und schützt vor Schwankungen in der Gasreinheit und Cross-Kontamination.
Der MonoTorr reinigt Stickstoff und Edelgase mit Durchflußmengen bis zu 5 slpm. Das Ganzmetall-Gettermaterial entfernt Verunreinigungen bis auf < 1 ppb.

Leistungsmerkmale:

  • vollautomatische Steuerung mit Ausfallschutz und akustischem Alarm
  • 0,003 µm Edelstahl-Partikelfilter
  • niedrige Wartungskosten
  • austauschbare Getterpatrone


PS3-MT3 Ausgangsleistung
gereinigte Gaseentfernte VerunreinigungenAusgangsleistung
N2H2O, O2, CO, CO2, H2, CH4< 1 ppb
He, Ar, XeH2O, O2, CO, CO2, H2, CH4, N2< 1 ppb

Bestellinformationen
Bestellnummergereinigte GaseStromspannung
PS3-MT3-R-1He, Ar, Xe110-120V
PS3-MT3-N-1N2110-120V
PS3-MT3-R-2He, Ar, Xe220-240V
PS3-MT3-N-2N2220-240V
Optionen
BYPS-3Bypass assembly
PS3-APIMSAPIMS certification to 1 ppb
Ersatzteile (Replacement cartridges are field replacable)
PF3-C3-R-1He, Ar, Xe110-120V
PF3-C3-N-1N2110-120V
PF3-C3-R-2He, Ar, Xe220-240V
PF3-C3-N-2N2220-240V

© 2024 Rainer Lammertz