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Gasreiniger für Argon
Entfernung von H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC < 1ppb
Optional: Entfernung von Säuren, Basen, Refraktärwerkstoffen
 Gasreiniger mit erhitztem Gettermaterial <100 slpm (MonoTorr)
Entfernung von H2O, O2, CO, CO2, H2, THC < 1ppb
0 - 100 slpm
Entfernung von H2O, O2, CO, CO2, H2, N2, THC < 1ppb
100 - 3300 slpm
NMHC = Nichtmethankohlenwasserstoffe C5-C30
THC = alle Kohlenwasserstoffe C1-C30
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