Katalytischer Stickstoffreiniger mit Entfernung von CH₄

Die Stickstoffreiniger der MegaTorr-Serie - verbessert, im Design optimiert und mit kleiner Stellfläche - bieten eine Leistung unterhalb des ppb-Bereichs. SAES Pure Gas besitzt eine langjährige Erfahrung hinsichtlich der Entwicklung von Ultra-High Purity (UHP) Rohrsystemen, der Analyse komplexer Prozess-Materialien und der dem Stand der Technik entsprechenden Steuerungssysteme, um diese Reiniger-Familie zu entwickeln und dabei den Anforderungen niedriger Anschaffungskosten, hoher Zuverlässigkeit und hoher Leistung zu entsprechen. Die Gasreiniger der PS9-Serie verwendet duale katalytische und Adsorptionsprozesse, speziell entwickelt um hochreines (UHP) Gas für Semiconductor-Anwendungen bereitzustellen. Die Verunreinigungen durch CH₄, CO, CO₂, H₂, H₂O und O₂ werden reduziert auf eine Teilchenmenge unter dem ppb-Niveau. Wenn die Entfernung von CH₄ nicht benötigt wird, kann stattdessen der PS8 Stickstoffreiniger eingesetzt werden.

Im PS9-Stickstoffreiniger reagieren im Katalysatorbehälter bei erhöhten Temperaturen Kohlenwasserstoffe (CH₄), CO und H₂ oxidierend mit O₂ oder CDA und bilden CO₂ und H₂O. Beides wird dann im Adsorber-Behälter bei Umgebungstemperatur aus dem Stickstoff entfernt. Die Adsorberbehälter wechseln zwischen Reinigungs- und Regeneriermodus und garantieren so eine koninuierliche Gasreinigung. Die Adsorber-Regeneration wird bei erhöhter Temperatur abgeschlossen über eine Spülung mit einer Mischung von gereinigtem Prozessgas und einer geringen Menge von Wasserstoff. Die PS9-Gasreiniger sind erhältlich für Durchflussmengen von 15 Nm³/hr bis 3000 Nm³/hr.