Katalytischer Stickstoffreiniger mit Entfernung von CH4


MegaTorr PS9 Series Catalytic Nitrogen Purifier

Die Stickstoffreiniger der MegaTorr-Serie - verbessert, im Design optimiert und mit kleiner Stellfläche - bieten eine Leistung unterhalb des ppb-Bereichs. SAES Pure Gas besitzt eine langjährige Erfahrung hinsichtlich der Entwicklung von Ultra-High Purity (UHP) Rohrsystemen, der Analyse komplexer Prozess-Materialien und der dem Stand der Technik entsprechenden Steuerungssysteme, um diese Reiniger-Familie zu entwickeln und dabei den Anforderungen niedriger Anschaffungskosten, hoher Zuverlässigkeit und hoher Leistung zu entsprechen. Die Gasreiniger der PS9-Serie verwendet duale katalytische und Adsorptionsprozesse, speziell entwickelt um hochreines (UHP) Gas für Semiconductor-Anwendungen bereitzustellen. Die Verunreinigungen durch CH4, CO, CO2, H2, H2O und O2 werden reduziert auf eine Teilchenmenge unter dem ppb-Niveau. Wenn die Entfernung von CH4 nicht benötigt wird, kann stattdessen der PS8 Stickstoffreiniger eingesetzt werden.
Im PS9-Stickstoffreiniger reagieren im Katalysatorbehälter bei erhöhten Temperaturen Kohlenwasserstoffe (CH4), CO und H2 oxidierend mit O2 oder CDA und bilden CO2 und H2O. Beides wird dann im Adsorber-Behälter bei Umgebungstemperatur aus dem Stickstoff entfernt. Die Adsorberbehälter wechseln zwischen Reinigungs- und Regeneriermodus und garantieren so eine koninuierliche Gasreinigung. Die Adsorber-Regeneration wird bei erhöhter Temperatur abgeschlossen über eine Spülung mit einer Mischung von gereinigtem Prozessgas und einer geringen Menge von Wasserstoff. Die PS9-Gasreiniger sind erhältlich für Durchflussmengen von 15 Nm3/hr bis 3000 Nm3/hr.

Standardeigenschaften:
  • Automatisierte Mikroprozessorsteuerung
  • Touchscreen-Benutzerschnittstelle
  • Systemalarme
  • Wärmeaustauscher von Gas zu Gas
  • Elektrisches Gasvorheizsystem
  • Geschlossene Temperaturregelkreise
  • Ganzmetallgehäuse mit Türen
  • Wasserstoff-Mischstation
  • Abschaltung bei Erreichen der Höchsttemperatur
  • Druckausgleichssystem bei Überdruck
Optionale Eigenschaften:
  • Absperrventile am Ein- und Ausgang
  • Mengendurchflussmesser, 4-20mA
  • Drucksensor am Ein- und Ausgang
  • Instrument Air Management System
  • Wasserkühlsystem
  • Wassergekühlter Wärmeaustauscher
  • Automatischer oder manueller Bypass
  • Partikelfilter
  • Separate Steuerspannung
  • MODBUS Datenübertragungsanschluss

PS8 Leistungsmerkmale
gereinigte Gaseentfernte VerunreinigungenAusgangsleistung
N2H2O, O2, CO, CO2, H2, CH4< 1 ppb

PS8 Spezifikationen
ModellMaximaler Durchfluss
(Nm3/hr)
Maximaler Druckabfall
(bar)
Abmessungen (cm)Gewicht
(kg)
HBT
PS9-MGT15 - PS9-MGT6015 - 600,71938982<600
PS9-MGT100 - PS9-MGT200100 - 2001193132135<1700
PS9-MGT300 - PS9-MGT400300 - 4001214148196<3100
PS9-MGT500 - PS9-MGT700500 - 7001237237191<3850
PS9-MGT800 - PS9-MGT1800800 - 18001266253315<6800
PS9-MGT2000 - PS9-MGT30002000 - 30001274254412<8700

© 2021 Rainer Lammertz