Gasreiniger für Stickstoff - PS8

Die Stickstoffreiniger der PS8-MegaTorr-Serie - verbessert und in ihrem Design optimiert und mit kleiner Stellfläche - bieten eine Leistung unterhalb des ppb-Bereichs. SAES Pure Gas besitzt eine langjährige Erfahrung hinsichtlich der Entwicklung von Ultra-High Purity (UHP) Rohrsystemen, der Analyse komplexer Prozess-Materialien und der dem Stand der Technik entsprechenden Steuerungssysteme, um diese Reiniger-Familie zu entwickeln und dabei den Anforderungen niedriger Anschaffungskosten, hoher Zuverlässigkeit und hoher Leistung zu entsprechen. Die PS8-MGT Serie verwendet duale katalytische und Adsorptionsprozesse, speziell entwickelt um hochreines (UHP) Gas für Semiconductor-Anwendungen bereitzustellen. Die Verunreinigungen durch CO, CO₂, H₂, H₂O and O₂ werden reduziert auf eine Teilchenmenge unter dem ppb-Niveau.

Zwei Adsorber-Behälter wechseln zwischen Reinigungs- und Regenerationsmodus, um so in einem kontinuierlichen Reinigungsprozess Verunreinigungen bis unter den ppb-Bereich zu entfernen. Die Adsorber-Regeneration wird abgeschlossen mittels einer Rück-Spülung mit einer Mischung des gereinigten Prozessgases und einer niedrigen Konzentration von Wasserstoff bei einer erhöhten Temperatur. Die Gasreiniger der PS8-Serie sind lieferbar für Durchflussmengen von 5 bis 20000 Nm³/hr.