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Gasreiniger für Kohlendioxid - PS31 oder PS32


Die MegaTorr-Gasreiniger für Kohlendioxid sind in ihrer Konstruktion verbessert und optimiert zur Bereitstellung einer Leistung im Sub-ppb-Bereich auf möglichst kleiner Stellfläche. Durch jahrelange Erfahrung bei der Konstruktion von Rohrleitungssystemen für den UHP-Bereich, bei der Analyse fortgeschrittener Werkstoffe und Materialien und hinsichtlich integrierter Steuerungssysteme auf dem letzten Stand der Technik vermag SAES Pure Gas besonders bei der Entwicklung dieser Familie von Gasreinigern den Bedürfnissen nach niedrigen Anschaffungskosten, hoher Zuverlässigkeit und hoher Leistung entsprechen. Die Gasreiniger der PS31- und PS32-Serie setzen Adsorptionsprozesse ein, die speziell entwickelt wurden zur Erzeugung von ultrahochreinem Gas für Anwendungen der Semiconductor-Industrie. Der Verunreinigungsgrad am Ausgang für H2O, O2, Säuren, Basen, organische Stoffe und Refraktärwerkstoffe wird reduduziert auf weniger als ppb-Niveau.
Zwei Adsorbergefäße wechseln zwischen Reinigungsmodus und Regenerationsmodus und garantieren so einen kontinuierlichen Reinigungsprozess. Die Adsorberregeneration findet statt mittels einer Rückspülung mit gereinigtem Gas bei erhöhten Temperaturen.

Standardleistungsmerkmale

  • Automatisierte Mikroprozessorsteuerung
  • Touchscreen-Benutzerschnittstelle
  • Systemalarme
  • Wärmeaustauscher von Gas zu Gas
  • Elektrisches Gasvorheizsystem
  • Geschlossene Temperaturregelkreise
  • Ganzmetallgehäuse mit Türen
  • Abschaltung bei Erreichen der Höchsttemperatur
  • Druckausgleichssystem bei Überdruck

Optionale Leistunsmerkmale

  • Absperrventile am Ein- und Auslass
  • Mengendurchflußmesser
  • Drucksensor am Ein- und Auslass
  • Instrument Air Management System
  • Automatischer oder manueller Bypass
  • Ultrafeiner 0,003 micron Partikelfilter
  • Separate Steuerspannung
  • MODBUS Datenübertragungsanschluss

gereinigte Gaseentfernte VerunreinigungenAusgangsleistung
CO2PS31: H2O, O2, Säuren, Basen, Kohlenwasserstoffe, Refraktärwerkstoffe
PS32: H2O, Säuren, Basen, Kohlenwasserstoffe, Refraktärwerkstoffe
< 1 ppb

© 2022 Rainer Lammertz