Die Ammoniakreiniger der PS21-MegaTorr-Serie - verbessert und in ihrem Design optimiert und mit kleiner Stellfläche - bieten eine Leistung unterhalb des ppb-Bereichs. SAES Pure Gas besitzt eine langjährige Erfahrung hinsichtlich der Entwicklung von Ultra-High Purity (UHP) Rohrsystemen, der Analyse komplexer Prozess-Materialien und der dem Stand der Technik entsprechenden Steuerungssysteme, um diese Reiniger-Familie zu entwickeln und dabei den Anforderungen niedriger Anschaffungskosten, hoher Zuverlässigkeit und hoher Leistung zu entsprechen. Diese automatisch regenerierbaren Ammoniakreiniger setzen einen Adsorptionsprozess ein, speziell entwickelt zur Erzeugung von hochreinem (UHP) Gas für Semiconductor-Anwendungen. Die Verunreinigungsgrade am Ausgang für H₂O und O₂ werden reduziert auf Levels unter parts-per-billion (ppb). Adsorberbehälter wechseln zwischen Reinigungs- und Regenerationsmodus, um so in einem kontinuierlichen Reinigungsprozess Verunreinigungen bis unter den ppb-Bereich zu entfernen. Die Adsorber-Regeneration wird abgeschlossen mittels einer Rück-Spülung mit einer Mischung von gereinigten Stickstoff und einer niedrigen Konzentration von Wasserstoff bei einer erhöhten Temperatur. Der regenerierte Behälter wird dann mit NH₃ aufgearbeitet, bevor er wieder zum Einsatz kommt.