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Gasreiniger für fluorierte Gase
Zu den entfernten Verunreinigungen gehören H2O, CO, CO2, O2, H2 und NMHC. Die Verunreinigungen werden reduziert auf weniger als 1 part-per-billion.



Modellbezeichnungskonfiguration (Beispiel MC1-905FV)
MC1 -905 -FV
Modellgröße Medium Optionen

Modellgröße
Modell mittlerer Durchfluss(1) maximaler Durchfluss(1) Maximaldruck Spezifikationen
MC1 0,5 slpm 5 slpm 1000 psig Datenblatt
MC50 1,5 slpm 10 slpm 1000 psig Datenblatt
MC190 5 slpm 50 slpm 250 psig Datenblatt
MC200 5 slpm 50 slpm 250 psig Datenblatt
MC400 9 slpm 60 slpm 250 psig Datenblatt
MC450 10 slpm 75 slpm 250 psig Datenblatt
MC500 12 slpm 100 slpm 250 psig Datenblatt
MC1500 40 slpm 250 slpm 250 psig Datenblatt
MC3000 80 slpm 500 slpm 250 psig Datenblatt
MC4500 200 slpm 1000 slpm 250 psig Datenblatt
MC9000 300 slpm 1000 slpm 250 psig Datenblatt
FT400 10 slpm 75 slpm 500 psig Datenblatt
HP190 5 slpm 50 slpm 1000 psig Datenblatt
HP400 9 slpm 60 slpm 1000 psig Datenblatt
SP70 1.5 slpm 20 slpm 3000 psig Datenblatt
SP300 10 slpm 100 slpm (2) 3000 psig Datenblatt
SP600 15 slpm 200 slpm 3000 psig Datenblatt
PG1 10 slpm 15 slpm 250 psig Datenblatt
Medientypen für ätzende Gase und Spezielgase
Medium gereinigte Gase entfernte Verunreinigungen Ausgangsleistung
905 C2F6, C2H6, C3F8, C3H8, C2F4H2, C4F8, C4H10, CCl4, CF4, CH4, CHF3, SF6 H2O, O2, CO, CO2, H2, NMHC< 1 ppb < 1 ppb

Optionen
Option Beschreibung Kommentar
F 0,003 μm Filteroption 2 μm Filter Standard
HF 0,003 μm high-flow Filteroption nur für den Einsatz mit MC4500
V Eingangs- und Ausgangsventile 1/4" manuelle Membranventile (nicht verfügbar für SP-Modelle)

© 2024 Rainer Lammertz