English
   


Spezialgasreiniger für ätzende Gase
Entfernte Verunreinigungen: H2O und Metalle bis zu < 1 ppb .  



Modellbezeichnungskonfiguration (Example MC1-302FV)
MC1 -302 -FV
Modellgröße Medium Optionen

Modellgrößen
Modell Mittlerer Durchfluss(1) Maximaler Durchfluss(1) Maximaldruck Spezifikationen
MC1 0,5 slpm 5 slpm 1000 psig Datenblatt
MC50 1,5 slpm 10 slpm 1000 psig Datenblatt
MC190 5 slpm 50 slpm 250 psig Datenblatt
MC200 5 slpm 50 slpm 250 psig Datenblatt
MC400 9 slpm 60 slpm 250 psig Datenblatt
MC450 10 slpm 75 slpm 250 psig Datenblatt
MC500 12 slpm 100 slpm 250 psig Datenblatt
MC1500 40 slpm 250 slpm 250 psig Datenblatt
MC3000 80 slpm 500 slpm 250 psig Datenblatt
MC4500 200 slpm 1000 slpm 250 psig Datenblatt
MC9000 300 slpm 1000 slpm 250 psig Datenblatt
FT400 10 slpm 75 slpm 500 psig Datenblatt
HP190 5 slpm 50 slpm 1000 psig Datenblatt
HP400 9 slpm 60 slpm 1000 psig Datenblatt
SP70 1.5 slpm 20 slpm 3000 psig Datenblatt
SP300 10 slpm 100 slpm 3000 psig Datenblatt
SP600 15 slpm 200 slpm 3000 psig Datenblatt
PG1 10 slpm 15 slpm 250 psig Datenblatt

Medientypen für ätzende Gase und Spezialgase
Medium gereinigte Gase entfernte Verunreinigungen Ausgangsleistung
302 B2H6, BCl3, BF3, CClH3, Cl2, CO2, DCS, GeCl4, GeH4, H2S, H2Se, HBr, HCl, N2O, NF3, NO, SiCl4, SiF4, SiH2Cl2, SiHCl3, SO2 H2O, Metalle < 1 ppb

Optionen
Option Beschreibung Kommentar
F 0,003 μm Filteroption 2 μm Filter ist Standard
HF 0,003 μm high-flow Filteroption nur für den Einsatz mit MC4500
V Eingangs- und Ausgangsventile 1/4" manuelle Membranventile (nicht verfügbar für SP-Modelle)

© 2024 Rainer Lammertz