Gasreiniger für Arsenwasserstoff und Phosphin
Zu den entfernten Verunreinigungen gehören H2O, und O2. Die Verunreinigungen werden reduziert auf weniger als 1 part-per-billion.


Modellbezeichnungskonfiguration (Beispiel MC50-402FV)
MC50 -402 -FV
Modellgröße Medium Optionen

Modellgrößen
Modell Mittlerer Durchfluss (slpm) Maximaler Durchfluss (slpm) Maximaldruck (PSIG) Spezifikation Technische Zeichnung
MC1 0,5 slpm 5 slpm 1000 psig Datasheet Drawing
MC50 1,5 slpm 10 slpm 1000 psig Datasheet Drawing
MC190 5 slpm 50 slpm 250 psig Datasheet Drawing
MC200 5 slpm 50 slpm 250 psig Datasheet Drawing
MC400 9 slpm 60 slpm 250 psig Datasheet Drawing
MC450 10 slpm 75 slpm 250 psig Datasheet Drawing
MC500 12 slpm 100 slpm 250 psig Datasheet Drawing
MC700 25 slpm 120 slpm 250 psig Datasheet Drawing
MC1500 40 slpm 250 slpm 250 psig Datasheet Drawing
MC3000 80 slpm 500 slpm 250 psig Datasheet Drawing
Special 'U' shaped Manifold
PG1 10 slpm 15 slpm 250 psig Datasheet Drawing

Medientypen für Arsenwasserstoff
Medium Gereinigte Gase Entfernte Verunreinigungen Regenerierbar
502 PH3, AsH3 H2O, O2 < 1 ppb No

Optionen
Option Beschreibung Kommentar
F 0,003 μm Filteroption Falls nicht anders bestellt, ist 2 µm Filter Standard
V Ein- und Ausgangsventile 1/4" or 1/2" Manuelle Membranventile

© 2021 Rainer Lammertz