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Gasreiniger für Ammoniak und Dimethylhydrazin
Zu den entfernten Verunreinigungen gehören H2O, O2, und CO2. In den meisten Fällen werden die Verunreinigungen reduziert auf weniger als 1 part-per-billion.



Modellbezeichnungskonfiguration (MC1-702FV)
MC1 -702 -FV
Modellgröße Medium Optionen

Modellgrößen
Modell Mittlerer Durchfluss (slpm) Maximaler Durchfluss (slpm) Maximaldruck (PSIG) Spezifikation Drawing
MC1 0,5 slpm 5 slpm 1000 psig Datasheet Drawing
MC50 1,5 slpm 10 slpm 1000 psig Datasheet Drawing
MC190 5 slpm 50 slpm 250 psig Datasheet Drawing
MC200 5 slpm 50 slpm 250 psig Datasheet Drawing
MC400 9 slpm 60 slpm 250 psig Datasheet Drawing
MC450 10 slpm 75 slpm 250 psig Datasheet Drawing
MC500 12 slpm 100 slpm 250 psig Datasheet Drawing
MC700 25 slpm 120 slpm 250 psig Datasheet Drawing
MC1500 40 slpm 250 slpm 250 psig Datasheet Drawing
MC2525 80 slpm 300 slpm 250 psig Datasheet Drawing
MC2550 80 slpm 500 slpm 250 psig Datasheet Drawing
MC3000 80 slpm 500 slpm 250 psig Datasheet Drawing
MC4500 200 slpm 1000 slpm 250 psig Datasheet Drawing
MC9000 300 slpm 1000 slpm 250 psig Datasheet Drawing
High Pressure Models
HP190 5 slpm 50 slpm 1000 psig Datasheet Drawing
HP400 9 slpm 60 slpm 1000 psig Datasheet Drawing
HP700 25 slpm 120 slpm 1000 psig Datasheet Drawing
SP70 1,5 slpm 20 slpm 3000 psig Datasheet Drawing
SP300 10 slpm 100 slpm 3000 psig Datasheet Drawing
SP600 15 slpm 200 slpm 3000 psig Datasheet Drawing
Special 'U' shaped Manifold
PG1 10 slpm 15 slpm 250 psig Datasheet Drawing

Medientypen
Medium Gereinigte Gase Entfernte Verunreinigungen Regenerierbar
702 NH3, DMHz, C2H7N, C2H8N2, C2H4, C3H6, CH3SiH3, GeH4, SF6 H2O, O2, CO2 < 1 ppb Ja

Optionen
Option Beschreibung Kommentar
F 0,003 μm Filteroption Falls nicht anders bestellt, ist 2 µm Filter Standard
HF 0.003 μm High-flow-Filteroption nur für den Einsatz mit MC4500
V Eingangs- und Ausgangsventile 1/4" or 1/2" Manuelle Membranventile

© 2022 Rainer Lammertz