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Gasreiniger für Ammoniak und Dimethylhydrazin
Zu den entfernten Verunreinigungen gehören H2O, O2, und CO2. In den meisten Fällen werden die Verunreinigungen reduziert auf weniger als 1 part-per-billion.
Modellbezeichnungskonfiguration (MC1-702FV)
| MC1 |
-702 |
-FV |
| Modellgröße |
Medium |
Optionen |
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Modellgrößen
Medientypen
| Medium |
Gereinigte Gase |
Entfernte Verunreinigungen |
Regenerierbar |
| 702 |
NH3, DMHz, C2H7N, C2H8N2, C2H4, C3H6, CH3SiH3, GeH4, SF6 |
H2O, O2, CO2 < 1 ppb |
Ja |
Optionen
| Option |
Beschreibung |
Kommentar |
| F |
0,003 μm Filteroption |
Falls nicht anders bestellt, ist 2 µm Filter Standard |
| HF |
0.003 μm High-flow-Filteroption |
nur für den Einsatz mit MC4500 |
| V |
Eingangs- und Ausgangsventile |
1/4" or 1/2" Manuelle Membranventile |
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