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Wasserstoff-Gasreiniger PS7-A (nur mit Adsorberschichten)
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Der MegaTorr Wasserstoff-Gasreiniger nur auf Adsorberbasis ist geeignet für Anwendungsbereiche, wo die Entfernung von N2 und CH4 nicht erforderlich ist.
Der MegaTorr PS7 setzt katalytische und Adsorptionsprozesse ein, um hochreinen (UHP) Wasserstoff für Semiconductor-Anwendungen zu produzieren. Die Verunreinigungslevel am Ausgang für O2, CO, CO2, NMHC & H2O Werden reduziert unter das Parts-per-Billion-Level (ppb). Die zwei Adsorbergefäße wechseln zwischen Reinigungs- und Regenerationsmodus und garantieren so einen kontinuierlichen Reinigungsprozess. Am Ende des Regenerationsprozesses findet eine Spülung mit gereinigtem Wasserstoff bei erhöhter Temperatur statt.
Standardeigenschaften:
- Automatisierte Mikroprozessorsteuerung
- Touchscreen-Benutzerschnittstelle
- Passwortgeschützte Steuereinheit
- Systemalarme
- H2 Leck-Detektor
- Gehäuseabsaugung
- Überdrucksicherheitssystem
- Hochtemperatur-Geräteverriegelung
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Optionale Eigenschaften:
- Druckaufnehmer am Eingang und Ausgang
- Massendurchflussmesser, 4-20 mA
- Automatischer oder manueller Bypass
- Instrument Air Management System
- Hochfeiner 0,003 Mikron Partikelfilter
- Separate Steuerspannung
- UPS - Unterbrechungsfreie Stromversorgung
- MODBUS-Datenkommunikations-Port
- Spülung des Rohleitungssystems mit Inertgas
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PS7 nur Adsorberbasis - Leistungsmerkmale |
| gereinigte Gase | entfernte Verunreinigungen | Ergebnis |
| H2 | H2O, O2, CO, CO2, NMHC | < 1 ppb |
PS7 Spezifikationen |
| Modell | Maximaler Durchfluss
(Nm3/hr) | Maximaler Druckabfall
(bar) | Abmessungen (cm) | Gewicht
(kg) |
| H | B | T |
| PS7-MGS10-A - PS7-MGS40-A | 10 - 40 | 0.7 | 138 | 80 | 40 | <110 |
| PS7-MGS50-A - PS7-MGS60-A | 50 - 60 | 0.7 | 168 | 87 | 61 | <180 |
| PS7-MGS90-A - PS7-MGS120-A | 90 - 120 | 0.7 | 199 | 92 | 69 | <300 |
| PS7-MGT200-A | 200 | 0.7 | 208 | 130 | 163 | <1361 |
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