Die MegaTorr Sauerstoffreiniger - verbessert, im Design optimiert und mit kleiner Stellfläche - bieten eine Leistung unterhalb des ppb-Bereichs. SAES Pure Gas besitzt eine langjährige Erfahrung hinsichtlich der Entwicklung von Ultra-High Purity (UHP) Rohrsystemen, der Analyse komplexer Prozess-Materialien und der dem Stand der Technik entsprechenden Steuerungssysteme, um diese Reiniger-Familie zu entwickeln und dabei den Anforderungen niedriger Anschaffungskosten, hoher Zuverlässigkeit und hoher Leistung zu entsprechen. Die Gasreiniger der PS6-Serie verwendet duale katalytische und Adsorptionsprozesse, speziell entwickelt um hochreines (UHP) Gas für Semiconductor-Anwendungen bereitzustellen. Die Verunreinigungen durch CO, CO_2, CH₄, H₂, and H₂O werden reduziert auf eine Partikelmenge unter dem ppb-Niveau.

Im Katalysatorbehälter reagieren bei erhöhten Temperaturen Kohlenwasserstoffe (CH₄), CO und H₂ mit O₂ zu CO₂ und H₂O in einem Oxidationsprozess. Das Ergebnis wird bei Umgebungstemperatur im nachgeschalteten Adsorberbehälter entfernt. Die Adsorber-Behälter wechseln zwischen Reinigungs- und Regeneriermodus und garantieren so eine koninuierliche Gasreinigung. Die Adsorber-Regeneration wird bei erhöhter Temperatur abgeschlossen mit einer Spülung mit gereinigtem Sauerstoff.