 |
Die MegaTorr Gasreiniger für Druckluft - verbessert und in ihrem Design optimiert - bieten eine Leistung unterhalb des ppb-Bereichs. SAES Pure Gas besitzt eine langjährige Erfahrung hinsichtlich der Entwicklung von Ultra-High-Purity (UHP) Rohrsystemen, der Analyse komplexer Prozess-Materialien und der dem Stand der Technik entsprechenden Steuerungssysteme, um diese Reiniger-Familie zu entwickeln und dabei den Anforderungen niedriger Anschaffungskosten, hoher Zuverlässigkeit und hoher Leistung zu entsprechen.
Die PS22 CDA Purifiers arbeiten mit Adsorbtionsprozessen bei Umgebungstemperatur und produzieren UHP-Druckluft für Lithographie, Qualitätsprüfung oder Metrologie in Semiconductor-Anwendungen.
Outlet impurity levels for CO2, H2O and trace impurities including TOC’s (C7+), amines, ammonia, siloxanes, sulfurs, refractory compounds, phthalates, carboxylic acids and NOx, are reduced to below parts per billion (ppb) levels with these Clean Dry Air Purifiers.
|
Standardeigenschaften
- Automatisierte Mikroprozessorsteuerung
- Touchscreen-Benutzerschnittstelle
- Systemalarme
- Elektrisches Gasvorheizsystem
- Geschlossene Temperaturregelkreise
- Ganzmetallgehäuse mit Türen
- Abschaltung bei Erreichen der Höchsttemperatur
- Druckausgleichssystem bei Überdruck
|
Optionale Eigenschaften:
- Absperrventile am Ein- und Ausgang
- Mengendurchflußmesser, 4-20mA
- Drucksensor am Ein- und Auslass
- Automatischer oder manueller Bypass
- Instrument Air Management System
- Ultrafeiner 0,003 Mikron Partikelfilter
- Separate Steuerspannung
|
|
Stickstoff >>