Gasreiniger für andere Gase

Entfernung von Kohlenwasserstoffen < 1ppb

0 - 1000 slpm

Entfernung von H₂O, O₂, CO₂, Säuren, Basen, Kohlenwasserstoffen, Refraktärwerkstoffen < 1ppb

0 - 1000 slpm

Entfernung von H₂O, O₂ < 1 ppb

0 - 125 slpm

Entfernung von H₂O, O₂, CO, CO₂, H₂, N₂, THC < 1ppb

H₂O, O₂, CO, CO₂, H₂, NMHC Removal < 1ppb

Also available: Acids, Bases, Refractory Compounds Removal

0 - 1000 slpm

[C₂F₆, C₂H₆, C₃F₈, C₃H₈, C₂F₄H₂, C₄F₈, C₄H₁₀, CCl₄, CF₄, CH₄, CHF₃, SF₆ ]

Entfernung von H₂O, O₂, CO, CO₂, H₂, NMHC < 1ppb

0 - 1,000 slpm

[B₂H₆, BCl₃, CClH₃, Cl₂, CO₂, GeCl₄, GeH₄, H₂S, H₂Se, HBr, HCl, N₂O, NF₃, NO, SiCl₄, SiF₄, SiH₂Cl₂, SiHCl₃, SO₂, CHClF₂, BF₃ ]

Entfernung von H₂O < 1ppb

0 - 500 slpm

Entfernung von H₂O, O₂, CO, CO₂, H₂, NMHC < 1ppb

Kanister mit Wandbefestigung (FaciliTorr)

Entfernung von H₂O, O₂, CO, CO₂, H₂, NMHC < 1ppb

Floor mounted column in a frame (PS14 MegaTorr)